마스크 필요 없는 8세대급 노광장비 핵심 기술 기존 노광 vs 디지털 노광 기술 비교 개념도

시사투데이 김성일 기자] 그동안 수입에 의존하던 마스크가 필요 없는 8세대급 노광장비 핵심 기술이 국내에서 개발됐다.

산업통상자원부는 2008년 1월부터 올 9월까지 5년간 전자정보디바이스 산업원천기술개발 사업을 통해 212억원을 지원함으로써 국내 원천기술이 전무해 전량 수입에 의존하던 대형 노광장비의 핵심기술 개발을 완료했다고 발표했다. 동 연구에는 삼성전자, LG전자, 코아시스템즈, 풍산시스템, 에버테크노, 연세대 등 21개 산·학·연 관련 기관이 참여했다.

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