시사투데이 김성일 기자] 그동안 수입에 의존하던 마스크가 필요 없는 8세대급 노광장비 핵심 기술이 국내에서 개발됐다.
산업통상자원부는 2008년 1월부터 올 9월까지 5년간 전자정보디바이스 산업원천기술개발 사업을 통해 212억원을 지원함으로써 국내 원천기술이 전무해 전량 수입에 의존하던 대형 노광장비의 핵심기술 개발을 완료했다고 발표했다. 동 연구에는 삼성전자, LG전자, 코아시스템즈, 풍산시스템, 에버테크노, 연세대 등 21개 산·학·연 관련 기관이 참여했다.
<LCD제조공정도>
노광기는 포토마스크에 빛을 쪼여 유리기판에 회로를 형성하는 장비로 노트북, 휴대폰 등에 쓰이는 평판디스플레이(FPD)를 만드는 데 사용된다. 노광공정은 FPD 제조 공정 중 비용과 시간적 측면에서 30~40% 이상을 차지하는 핵심 공정으로 그동안 니콘, 캐논 등 일본 기업을 비롯한 선진국으로부터 장비를 전량 수입해 왔다. 노광기 장비 1대당 가격은 200~300억원으로 연간 국내 디스플레이 노광장비 수입으로 5억 8000만 달러를 사용해 왔다.
이번에 개발된 기술은 기존의 아날로그 방식이 아닌 디지털방식으로 개발된 세계 최초의 대형 노광기술이다. 즉, 아날로그 노광기의 핵심부품인 마스크를 디지털화(Maskless)한 것이 핵심이다. 이를 통해 패턴을 설계한 직후 테스트와 생산이 가능해져 연간 약 5000억원의 마스크 제작 비용이 절감되고 제품 개발기간도 3개월 이상 단축될 전망이다.
산업부는 동 기술개발로 인해 세계 최고수준인 국내 디스플레이 산업기술과 노하우(Know-how)가 외국 장비기업을 통해 경쟁국에 유출되는 위험을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 향후 국산 노광장비의 수출효과도 기대할 수 있다고 전망했다.
산업부 관계자는 “노광기는 기술 수준이 매우 높고, 외국 장비기업의 엄격한 통제로 인해 기술 접근이 어려워 디스플레이 5대 핵심 장비 중 유일하게 국산화에 성공하지 못한 장비다”며 “디지털 노광 기술의 자립과 세계 최고 기술력 유지를 위해 관련 부품의 자급체계와 상용화를 위한 인프라 구축 등을 지속 지원할 계획이다”고 말했다.
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