
[시사투데이 이윤지 기자] 반도체 산업의 생명수로 불리는 초순수 산업의 기술혁신을 이끄는 복합기능 연구시설이 2030년 조성된다.
환경부는 '국가 초순수 플랫폼센터' 입지를 선정하기 위해 관련 기준에 적합한 부지를 보유한 전국 지자체를 대상으로 24일부터 15일간 공모한다고 밝혔다.
초순수는 웨이퍼 제조, 포토, 식각 등 반도체 제조 각 공정에서 세정에 사용된다. 초순수의 생산을 위해서는 물속에 포함된 불순물의 농도를 극히 낮은 값으로 억제하는 최고난도의 수처리 기술이 필요한데 일부 선진국만이 이 기술을 보유하고 있다.
우리나라는 현재까지 초순수 생산 기술을 여전히 해외기업에 의존하는 상황에서 환경부는 2021년부터 초순수 생산기술 국산화를 위한 연구개발을 추진해 왔다.
환경부는 이번 공모를 통해 지자체로부터 '초순수 플랫폼센터 유치의향서'를 접수한 후 신청 요건의 적합 유무와 평가 기준에 따라 최적의 입지 1곳을 선정해 고시할 계획이다.
입지 조건 부지는 건물 바닥면적 1만7664m2 확보 가능, 공업용수 하루 3120m3 확보 가능, 전기용량 월 1만300kW(킬로와트), 전력량 492만4155kWh(킬로와트시) 사용 가능, 폐수배출시설 1종 시설 설치 가능, 2027년 이전 착공 가능, 첨단 및 소재·부품·장비 특화단지 내 또는 반도체 제조 사업장과 30km 이내 지역 등 6가지 조건을 충족해야 한다.
국가 초순수 플랫폼센터는 소재·부품·장비 시험센터, 초순수 실증설비(플랜트), 분석센터, 폐수재이용 기술센터, 연구개발·기업지원·인재양성센터 등을 포함하는 5개 시설로 구성될 예정이다.
이승환 환경부 물이용정책관은 "초순수 플랫폼센터를 유치하면 해당 지자체의 경제 활성화 효과도 기대할 수 있을 것이다"고 했다.
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